Wasco的Barracuda系列高純度(UHP)傳感器專為在苛刻的市場應用中需要檢測腐蝕性介質(zhì)的應用而設計。這些傳感器非常適合檢測氣體或液體介質(zhì)，而不會對過程介質(zhì)造成污染。該系列非常適合要求在高精度、嚴格公差應用中檢測腐蝕性介質(zhì)的系統(tǒng)。

我們?yōu)橄乱淮雽w加工設備中的高腐蝕性環(huán)境設計了這些傳感器。梭魚系列的額定應用周期超過10，000，000。梭魚擁有滿足或超過SEMI F20 (UHP)的材料，臨界點蝕溫度性能> 35℃。所有傳感器都經(jīng)過氦泄漏測試，達到每SEMI F1≤1 x 10-9標準立方厘米/秒氦。

煤氣箱

IGS氣體面板

氣體分配系統(tǒng)

閥門歧管箱

蝕刻和沉積系統(tǒng)