VPM-7 SmartPirani ATM 傳感器專為半導體負載鎖定壓力控制和其他需要準確測量相對于大氣環(huán)境壓力的真空應用而設計。與傳統(tǒng)的負載鎖定傳感器和其他負載鎖定傳感器解決方案相比，它具有同類更高的性能，測量范圍更廣、精度更高、測量周期更快。SmartPirani ATM 將導熱性皮拉尼熱損失真空計的可用測量范圍擴大了 1-3 倍，從而確立了新的標準。

1E-6 至 1333 mbar 寬測量范圍

MEMS Pirani 和壓電傳感器組合

獨立于 2 至 1333 mbar 的氣體

用于負載鎖定壓力控制的大氣切換功能

數(shù)字、模擬和設定點控制功能

1 RS-232 發(fā)送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開（常開觸點）

13 繼電器 3 常開（常開觸點）或模擬輸出 2

14 繼電器 3 公共端

15 繼電器 3 常開（常開觸點）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針 D 型超微，電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產(chǎn)地：丹麥

法蘭：DN16KF

傳感器：MEMS Pirani / Piezo / Atm.

傳感器保護：符合標準

通訊：RS-485

輸出STD：標準 輸出

單位：Torr Torr

設定點：3 個繼電器

連接器：15p HD D-Sub

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 Torr)

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar ：MEMS Pirani 熱導率

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電讀數(shù)

測量原理 2 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數(shù)的 25 %

精度 1×10^-4 至 7.99 mbar：讀數(shù)的 5 %

精度 8.00 至 99.9 mbar：讀數(shù)的 1 %

精度 100 至 800 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀數(shù)的 0.25 %

精度 1100 至 1333 mbar：讀數(shù)的 0.5 %

磁滯 1×10^-3 至 10 mbar (ISO19685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1333 mbar（ISO19685:2017）：0.1 %

模擬輸出分辨率：16 位 (150 μV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應時間（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

固態(tài)繼電器設定點范圍：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 Torr）

固態(tài)繼電器觸點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態(tài)繼電器認證：UL 認可：文件 E76270；CSA 認證：證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證

工作環(huán)境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhì)溫度：-20 至 +50 ℃

儲存環(huán)境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作）：+120 ℃

Max介質(zhì)壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

保護等級，EN 60529/A2：2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98%，無冷凝

半導體行業(yè)、分析儀器、綠色和可持續(xù)技術、工業(yè)涂料、航空航天工業(yè)