UHP160 系列除采用全焊接結(jié)構(gòu)外，還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專有的制造方法，去除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的理適配選擇，精度高，公差小。我們?yōu)楦呒兌葢茫ㄈ绨雽w設備）設計了這些開關(guān)。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據(jù) SEMI F1 標準，所有開關(guān)的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 級潔凈室中制造和包裝。

全焊接結(jié)構(gòu)

不銹鋼傳感器

處理腐蝕性介質(zhì)

精度高，公差小

氦氣泄漏測試達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

100 級潔凈室中制造和包裝

WASCOINC UHP169-31L2B-X/1767

WASCOINC UHP169-31W3A/1657

WASCOINC UHP169-31WV2B-X/9963

WASCOINC UHP169-31L2B-X/1601

產(chǎn)地：美國

傳感器：3

Max系統(tǒng)壓力：30.0 inHg

設定點范圍：1.6 至 29.5 inHg

設定點公差：± 1.2 inHg

復位帶：1.0 至 4.6 inHg

接頭材質(zhì)：316 L SS

膜片材質(zhì)：17-7PH SS 和 316L SS

使用周期：≥ 1,000,000 次

入口防護等級：IP 67

泄漏率：氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作溫度：-65 至 225 ℉；-54 至 107 ℃

氣箱、臭氧系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、半導體設備