集成系統(tǒng)將線性或 XY 平臺與轉(zhuǎn)臺相結(jié)合，提供交鑰匙解決方案。 平臺可配備直接驅(qū)動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。

開放式 XY 旋轉(zhuǎn)平臺設(shè)計用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中的晶圓處理和許多其他自動化定位應(yīng)用。 位于單元側(cè)面的 XY 驅(qū)動機構(gòu)和大型中心通孔轉(zhuǎn)臺提供了清晰通暢的晶圓訪問。

XY臺：XY-OF-UL-200x200

旋轉(zhuǎn)臺：ACR-160UT

電機類型：無刷伺服電機/編碼器（標準）

直線伺服電機（選件）

XY行程：200 x 200 mm

中心孔徑：直徑160 mm

分辨率（線性）：1 micron（注 1,2）

2.5 micron（注3）

分辨率（旋轉(zhuǎn)）：1.4 arc-sec

重復(fù)性（線性）：5 micron（注3）

1 micron（注 1,2）

重復(fù)性（旋轉(zhuǎn)）： 2 arc-sec

速度：400mm/sec（注 3）

800mm/sec（注2）

負載重量： 30 kg

載物臺重量：16 kg

（注1）帶線性編碼器（可選）

（注2）直線伺服電機（可選）

（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導(dǎo)程，無刷伺服驅(qū)動