一種用于波前控制的多功能可變形反射鏡系統(tǒng)。

流行的Multi-DM系列以易于使用的包裝提供復(fù)雜的像差補(bǔ)償。這種類(lèi)型的系統(tǒng)具有137或140個(gè)準(zhǔn)確控制的元件和低致動(dòng)器間耦合，非常適合廣泛的應(yīng)用，包括顯微鏡、天文學(xué)、視網(wǎng)膜成像和激光束成形。

MEMS 可變形反射鏡的架構(gòu)可實(shí)現(xiàn)當(dāng)今任何可變形反射鏡中快的響應(yīng)時(shí)間，并且精度僅受電子設(shè)備限制。我們的標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器可對(duì)整個(gè)范圍進(jìn)行14位控制，使我們的可變形反射鏡具有開(kāi)箱即用的精度。如果需要更高的精度，可以使用更高的分辨率。

設(shè)計(jì)概念簡(jiǎn)單，但功能強(qiáng)大

工作溫度：-10C – 30C

儲(chǔ)存溫度：-10C – 80C

相對(duì)濕度：< 30%RH

鏡面涂層：鋁、金或保護(hù)銀

窗口：可提供AR涂層

遲滯：無(wú)

步長(zhǎng)：亞納米（平均值）

表面類(lèi)型：連續(xù)（DM）

填充系數(shù)：>99%

表面形貌：<20nm RMS

執(zhí)行器總數(shù)：140

整個(gè)孔徑的致動(dòng)器計(jì)數(shù)：12

物理行程（μm）：5.5

波前行程 (µm)：11.0

孔徑（毫米）：4.95

間距（μm）：450

產(chǎn)地：美國(guó)